晶圓x射線(xiàn)晶體定向儀分揀系統Wafer XRD

◇  自動(dòng)化的晶圓處理和分類(lèi)系統（例如：盒到盒）。

◇  晶體取向和電阻率測量 

◇  晶片的幾何特征（缺口位置、缺口深度、缺口開(kāi)口角度、直徑、平面位置和平面長(cháng)度）的光學(xué)測定 

◇  未拋光的晶圓和鏡面的距離測量 

◇  MES和/或SECS/GEM接口

晶圓x射線(xiàn)晶體定向儀分揀系統Wafer XRD的Omega-scan方法：

◇  高的精度 

◇  測量速度： < 5秒/樣品 

◇  易于集成到工藝線(xiàn)中 

◇  典型的標準偏差傾斜度（例如：Si 100）：   < 0.003 °，小于< 0.001 °。

全自動(dòng)化的晶圓分揀和處理系統

Freiberg Instruments的單晶XRD定向儀
主要里程碑：        

◆  1961 - EFG GmbH公司由X-ray Ing.集團亞瑟·布拉達切克和他的兒子漢斯·布拉達切克創(chuàng )立。

◆  1969 - 研制了世界上基于集成電路的x射線(xiàn)檢測計數裝置，名為 COUNTIX 130。

◆  1989 - 開(kāi)發(fā) Omega-Scan 方法

BOSCH 要求提供圓形石英毛坯的定向測量系統 -    振蕩器產(chǎn)量從 50% 提高到 95%

◆  2005 - 將 Omega 轉移到其他材料，如SiC、藍寶石、GaN、GaAS、Si、Ni基高溫合金

◆  2010 - 推出用于晶體取向測量的臺式 X 射線(xiàn)衍射儀 ( DDCOM ) 

全球售出 約 150臺石英分選系統

◆  2015 - X 射線(xiàn)技術(shù)和 EFG GmbH 合并到 Freiberg Instruments GmbH        

傳承60年德國工匠精神-三代X射線(xiàn)工程師